陶瓷十大品牌真空蒸鍍的設備系統包括前處理設備、蒸鍍機及后處理設備,其中蒸鍍機是核心部分。蒸鍍機由真空槽(室)、真空排氣系統、燕發源及電氣設備組成。真空室內有可控的加熱裝置及可驅動的工件夾具等。
在某些膜層沉積過程中對膜厚需要進行動態的在線測量,這些成長中的膜層厚度僅在納米到微米級之間。故需要特殊的測量技術。目前常用的檢測方法有光干涉極值法和石英晶體振蕩法。前者是基于光線垂直人射到薄膜上。通過不同波長的光的透射和反射隨膜厚變化而干涉圖樣發生變化來進行識別的,它僅用于透明膜層檢測,測量儀器主要由調制器、單色儀和光電倍增管組成。后者是基于石英晶片振蕩頻率隨沉積膜厚而變化進行識別的,它廣泛用于各種膜層的厚度測量,側量系統由石英晶體振蕩片、頻率計數器、微分電路與數字電路等組成。 |